德国spectron压力控制面板SP6

产品介绍

产品名称：spectron压力控制面板SP6

品牌：德国spectron

产地：德国

型号：SP6

产品特性

• 压力控制面板适用于危险性气体和纯度高于6.0的超高纯气体

• SBE: 吹扫连接模块或

  SR: 进气盘管和单个阀并配

  - 手动废气排放阀 (HPV)

  - 手动进气阀 (HPI)

  - 手动吹扫进气阀 (PGI)

• 单向阀以防止工艺气体进入吹扫气体管路中

• 内置过滤器

• 减压阀为绑定式膜片结构

• 配置爆破片

• 泄漏和真空测试口

• **小的吹扫体积 (SBE模块)

• 不锈钢膜片式截止阀可选手动或气控式

• 电解抛光表面 (与气体接触区域)

• 清晰的手轮位置指示 (开/关)

• 100 % 氦气检测

• 在ISO 5.0等级的洁净室内组装

• 有多种可选项的模块化设计

技术参数

工作压力：** 300 bar

材料：阀体:不锈钢 1.4404

膜片: : 哈氏合金 C276

其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404

密封件: PCTFE 或 PVDF

表面粗糙度：Rₐ,** ≤ 0,25 µm

(与气体接触区域) Rₐ,平均 ≤ 0,18 µm

泄漏率：(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He

(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He

温度范围：-20°C 到 +60°C

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