产品介绍
产品名称:spectron终端阀组EES55-1-VCR
品牌:德国spectron
产地:德国
型号:EES55-1-VCR
产品特性
•终端阀组适用于纯度6.0以上的腐蚀性气体或混合气体
•控制精度高
•减压阀为绑定式膜片结构
•轨道焊接的VCR接头
•可用于真空条件
•可选手动或气动膜片截止阀:
-工艺气体入口(TPI)
-吹扫气体入口(SPI)
-吹扫气体出口(SPV)
-工艺气体出口(TPO)
•100%氦气泄漏检测
•在等级ISO 5.0的洁净室中进行组装
技术参数
进气压力 P₁:** 50 bar
出气压力 P₂:** 1,5 / 4 / 10 bar
材料:阀体:不锈钢 1.4404
膜片: : 哈氏合金 C276
其它与气体接触零件: 不锈钢 1.4404
密封件: PCTFE 或 PVDF
表面粗糙度 (气体接触部分):Ra,** ≤ 0,25 µm:泄漏率:(对外): 1 x 10⁻⁹ mbar l/s He
(对内): 1 x 10⁻⁶ mbar l/s He
Cᵥ-值:0,24 (kv = 0,2)
温度范围:-20°C 到 +60°C
重量:2,4 ... 5,0 kg
联系
北京恒仪科技有限公司 | 河北恒仪电子科技有限公司
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