磁控与离子束溅射渡膜系统（FJL560）

主要技术指标

450*400mm

主要功能/应用范围

可镀不同材质的晶圆片

服务内容

1、Φ450×400(mm)圆筒形立式全不锈钢结构；2、经烘烤优于 6.6×10-5Pa；3、离子束室：样品台有六个工位，其中一个工位上安装有加热器，最高加热温度为600?C，在离子束室安装一套退火炉，样品最高加热温度1150?C。4、磁控溅射室：（样品可自转，水冷，可加热）两个射频靶、一个平面直流磁控靶、靶材直径Ф60mm；可装1个2英寸基片。

服务的典型成果

为校内外师生提供测试服务

对外开放共享规定

只提供送样测试服务

参考收费标准

具体请跟机主老师联系

仪器联系人：

杨帆

联系电话：

13682019413

电子邮箱：

传　　真：