激光共聚焦显微镜（OLS3100）

主要技术指标

以408nm短波长半导体激光为光源，察样品表面亚μm程度（0.2μm）的三维形态和形貌，测量亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度等数据。

主要功能/应用范围

通过显微镜内高精度扫描装置对样品表面的二维扫描，获得表面显微图像，或通过显微镜高精度步进马达驱动和5nm光栅控制的聚焦装置，运用共聚焦技术（Confocal），逐层获取样品各个二维图像和焦面的纵向空间坐标，经计算机处理,将各个焦平面的显微图象叠加,获得样品表面的三维真实形态。适用于观察样品表面亚μm程度（0.2μm）的三维形态和形貌，测量亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度等数据。

服务内容

无

服务的典型成果

无

对外开放共享规定

无

参考收费标准

无

仪器联系人：

李朝晖

联系电话：

0310-2094558

电子邮箱：

传　　真：