![分步投影光刻机（步进机） [型号:NSR-1505i7A]](/d/file/2017/99ebf9d7b619c4d125201322a2159523.jpg)
仪器名称：分步投影光刻机（步进机）
仪器型号：NSR-1505i7A
仪器类型：半导体集成电路工艺实验设备
应用领域：电子与通信技术
所属单位：同辉电子科技股份有限公司
仪器产地：日本
仪器价值：147.97万
仪器购买时间：2011-02-17
主要技术指标
最小线宽0.6μm，圆片尺寸2英寸
主要功能/应用范围
光刻工艺，用于曝光芯片
服务内容
自设备启用之日起，便对外开放
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
凡需要使用仪器的企业和个人，请提前预约，并填写测试委托单。测试（加工、试验等）完成后，用户和负责仪器设备共享的管理人签字确认后，去财务缴费，持收据领取结果。
参考收费标准
面议
共享仪器单位信息仪器联系人：
李晓波
联系电话：
0311-83933733
电子邮箱：
传 真：
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