![高真空蒸发镀膜设备 [型号:EI-5z]](/d/file/2017/cdbee64b1463385991be28086720a962.jpg)
仪器名称：高真空蒸发镀膜设备
仪器型号：EI-5z
仪器类型：半导体集成电路工艺实验设备
应用领域：电子与通信技术
所属单位：同辉电子科技股份有限公司
仪器产地：日本
仪器价值：145.12万
仪器购买时间：2009-12-16
主要技术指标
最大加工尺寸：?280*50mmh，分辨率0.5μm，移动行程：100mm，深度可调节25μm，编码器分辨率0.1μm
主要功能/应用范围
用于蒸镀ODR
服务内容
自设备启用之日起，便对外开放
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
凡需要使用仪器的企业和个人，请提前预约，并填写测试委托单。测试（加工、试验等）完成后，用户和负责仪器设备共享的管理人签字确认后，去财务缴费，持收据领取结果。
参考收费标准
面议
共享仪器单位信息仪器联系人：
李晓波
联系电话：
0311-83933733
电子邮箱：
传 真：
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