场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统（Zeiss Crossbeam 540）
时间：2018-01-09 15:51:52来源：网络
| 仪器名称 |
场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统
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仪器型号 |
Zeiss Crossbeam 540
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| 所属单位 |
上海应用物理研究所
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所属区域中心 |
上海材料与制造大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
卡尔蔡司
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国别 |
德国
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| 购置时间 |
2016/08/15
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放置地点 |
嘉定园区电子学楼108实验室
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| 预约审核人 |
王羽
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操作人员 |
王羽,孙静雯
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
室内分析测试设备
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仪器中类 |
显微镜及图象分析仪器
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仪器小类 |
其他显微镜及图象分析仪器
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| 仪器主要功能及描述 |
主要功能：TEM样品制备；二维与三维表征；纳米加工
技术指标：
1. 电子束分辨率：20.9nm@15KV；1.8nm@1KV
2. 离子束分辨率：4nm；离子束加速电压0.5-30KV；；
3. 加速电压：电子束0.02-30KV；离子束0.5-30KV
4. 探测器：In-lens二次电子探测器；EsB镜筒内能量选择背散射电子探测器；E-T二次电子探测器；样品室内背散射电子探测器；样品室内外红外CCD.
5. 气体注入系统（5支）：Pt沉积气体、W沉积气体、C沉积气体，金属增强蚀刻气体、氧化物增强蚀刻气体等。
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
固体或者粉末 |
三维重构 |
用户指定 |
用户指定 |
15000 |
| 2 |
固体或者粉末 |
纳米加工（沉积、刻蚀） |
用户指定 |
用户指定 |
1200 |
| 3 |
固体或者粉末 |
TEM样品制备 |
用户指定 |
用户指定 |
4000 |
| 4 |
固体或者粉末 |
二维形貌表征（含EDS） |
用户指定 |
用户指定 |
250 |
