超高真空分子束沉积系统（Cubic MBE）
时间：2018-01-09 15:52:00来源：网络
| 仪器名称 |
超高真空分子束沉积系统
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仪器型号 |
Cubic MBE
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| 所属单位 |
强磁场科学中心
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所属区域中心 |
合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
费勉仪器
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国别 |
中国
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| 购置时间 |
2015/11/30
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放置地点 |
小白房127
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| 预约审核人 |
曹亮
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操作人员 |
曹亮
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
工艺实验设备
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仪器小类 |
材料工艺实验设备
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| 仪器主要功能及描述 |
仪器描述：腔体极限真空5x10-9torr，配备快速进样室(load lock)，在不暴露大气的条件下实现样品的传输; 石英晶体膜厚仪，用于薄膜沉积速率的测量；高温蒸发源两个，温度范围100 ～ 1100℃/1500℃ (扩展接口6个)。样品架加热温度25~600℃。样品架设计有掩模卡槽用于掩膜的原位更换。
功能：
(i)样品的真空退火。
(ii)配备多个蒸发源，可用于有机分子薄膜的制备、金属（氧化物）薄膜的制备及器件金属电极的蒸镀。
(iii)自旋电子学器件的原位制备。
(iv)系统可与多种高真空分析系统(光电子能谱、扫描隧道显微镜)连接，用于薄膜原位生长及表征。
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
固体、单晶或薄膜 |
多功能物性测试 |
用户指定 |
用户指定 |
400 |
