| 仪器名称 | 可变温MEMS测试系统 | 仪器型号 | VT-60 |
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| 所属单位 | 半导体研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 香港LEIRUI | 国别 | 中国 香港 | ||
| 购置时间 | 2017/03/22 | 放置地点 | 半导体所3号楼1层 | ||
| 预约审核人 | 赵永梅,毛旭 | 操作人员 | 赵永梅 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 电子工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 电泳凝胶，膜阵列，微阵列，印记，微孔板，组织切片 | 半导体电学特性测试分析 | 用户指定 | 用户指定 | 100 |