| 仪器名称 | 激光干涉仪3 | 仪器型号 | Zygo Verifire QPZ 6 |
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| 所属单位 | 光电研究院 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | Zygo | 国别 | 美国 | ||
| 购置时间 | 2015/04/23 | 放置地点 | 一楼洁净间 | ||
| 预约审核人 | 苏佳妮 | 操作人员 | 苏佳妮 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 免预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 电子与通信科学仪器设备 | 仪器小类 | 通用电子测量仪器 |
| 仪器主要功能及描述 | 针对光学元件/部分光学系统的反射面波像差及透射面波像差进行检测，软件可以给出三维或二维波前图，并计算出泽尼克系数。本设备最大测量口径为150mm | ||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 光学系统 | 面形误差 | 用户指定 | 用户指定 | 2000 |