| 仪器名称 | 多功能磁控溅射系统 | 仪器型号 | JGP-450B |
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| 所属单位 | 安徽光学精密机械研究所 | 所属区域中心 | 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 沈阳科仪 | 国别 | 中国 | ||
| 购置时间 | 2016/04/01 | 放置地点 | 综合楼北楼308房间 | ||
| 预约审核人 | 邵景珍 | 操作人员 | 邵景珍 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 项目预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 材料工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | 多功能磁控溅射系统主要用于制备外延或取向生长的高质量纳米级单层及多层氧化物半导体功能膜和金属电极膜, 是器件研究的基础。 | ||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 薄膜 | 薄膜制备 | 用户指定 | 用户指定 | 200 |