反射式光谱膜厚仪（SRM300）
时间：2018-01-16 11:46:43来源：网络
| 仪器名称 |
反射式光谱膜厚仪
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仪器型号 |
SRM300
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| 所属单位 |
中国科学技术大学
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所属区域中心 |
合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
美国 Angstrom Sun
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2013/12/06
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放置地点 |
科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
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| 预约审核人 |
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操作人员 |
微纳中心,荣皓
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
工艺实验设备
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仪器小类 |
加工工艺实验设备
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| 仪器主要功能及描述 |
反射式光谱膜厚仪利用薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发
生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度；是一种无损、精确且快速的光
学薄膜厚度测量技术。
主要技术指标
可以测量最大5层重叠薄膜的厚度和折射率；可测量如氧化物，氮化物，光阻，导电玻璃，聚合物和半导体薄膜等透明或半透明薄膜；对特定的介电质测量厚度范围50nm-150um；测量波长范围350-1450nm；测量精度：对特定材料小于厚度的1%；样品尺寸：最大8英寸；样品厚度：最大2cm；定位精度约1um；有完备的光学参数数据库可供调用
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
片状、薄膜 |
膜厚测量及多层膜分析 |
用户指定 |
用户指定 |
120 |
