| 仪器名称 | 多腔室PECVD薄膜沉积系统 | 仪器型号 | 非标定制/PHD-1 |
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| 所属单位 | 上海高等研究院 | 所属区域中心 | |||
| 制造商名称 | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 | 国别 | 中国 | ||
| 购置时间 | 2015/11/01 | 放置地点 | 海科路99号2号楼2F设备间 | ||
| 预约审核人 | 李瑞雪 | 操作人员 | 李瑞雪,李晓贤 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 材料工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | 用于硅基薄膜的化学气相沉积设备。 | ||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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