微操作低温探针台-半导体特征参数分析仪（CRX-4K, 4200-SCS）
时间：2018-01-18 09:38:28来源：网络
| 仪器名称 |
微操作低温探针台-半导体特征参数分析仪
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仪器型号 |
CRX-4K, 4200-SCS
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| 所属单位 |
理化技术研究所
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所属区域中心 |
北京物质和纳米科学大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
Lake Shore Cryotronics, Inc
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2013/09/25
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放置地点 |
理化技术研究所1号楼121
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| 预约审核人 |
陆珩
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操作人员 |
陆珩
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
物理量测试仪器
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仪器小类 |
光电测量仪器
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| 仪器主要功能及描述 |
该闭式循环制冷探针台无需制冷剂，能够提供5.6K至670K的变温真空环境。所配备的电学、光学通道，结合光学激发/探测模块、半导体特征参数测试仪Keithley 4200-SCS，适用于变温条件下对于样品光电、介电等物性的表征、研究。
温度范围5.6K~670K；真空度可达5×10-4 torr；配备探针BeCu 3, 10, 25μm半径，Wu 25μm半径，应用频率可达1GHz；
激光光源：450nm (100mW), 532nm (80mW), 660nm (100mW)；
溴钨灯源：250W，350nm~2500nm，光斑直径80mm；
单色仪：200nm~2500nm，分辨率0.1nm；
Keithley 4200-SCS：I-V测试模块：0-200V，电压分辨率1mV，电流分辨率0.1fA，4路通道；C-V测试：1kHz-10MHz，测试电容范围1pF-1mF，精度±0.1%；双通道快速I-V模块：电压范围0-40V，电流范围0-800mA，脉冲输出分辨率20ns
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
块材、薄膜 |
直流I-V测试 |
用户指定 |
用户指定 |
450 |
| 2 |
块材、薄膜 |
电容电压C-V测试 |
用户指定 |
用户指定 |
450 |
| 3 |
块材、薄膜 |
超快Pulsed I-V测试 |
用户指定 |
用户指定 |
450 |
| 4 |
块材、薄膜 |
光激发测试 |
用户指定 |
用户指定 |
100 |
