| 仪器名称 | 化学机械研磨机（8寸 J） | 仪器型号 | FRX200 |
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| 所属单位 | 微电子研究所 | 所属区域中心 | |||
| 制造商名称 | 日本EBARA | 国别 | 日本 | ||
| 购置时间 | 2012/04/06 | 放置地点 | 净化楼2楼工艺线 | ||
| 预约审核人 | 王瑞,曲扬,杨涛 | 操作人员 | 杨涛,曲扬,王瑞 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 其他工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 8寸硅片 | 表面研磨 | 用户指定 | 用户指定 | |
| 2 | 8寸硅片 | 表面研磨 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |