| 仪器名称 | 单片湿法腐蚀设备(8寸 J) | 仪器型号 | SP223 |
|
|
| 所属单位 | 微电子研究所 | 所属区域中心 | |||
| 制造商名称 | 美国lam公司 | 国别 | 美国 | ||
| 购置时间 | 2012/01/04 | 放置地点 | 净化楼2楼平台 | ||
| 预约审核人 | 王瑞,杨涛,曲扬 | 操作人员 | 杨涛,曲扬,王瑞 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 其他工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 8寸硅片 | 硅片清洗 | 用户指定 | 用户指定 | |
| 2 | 8寸硅片 | 表面清洗 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |