| 仪器名称 | 场发射扫描电镜（纳米区域中心） | 仪器型号 | SIGMA |
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| 所属单位 | 电工研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 德国 CARL ZEISS | 国别 | 德国 | ||
| 购置时间 | 2011/09/30 | 放置地点 | 2号楼104 | ||
| 预约审核人 | 孔祥东,林云生 | 操作人员 | 孔祥东,林云生 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 室内分析测试设备 | 仪器中类 | 显微镜及图象分析仪器 | 仪器小类 | 电子显微镜 |
| 仪器主要功能及描述 | 具有电子束扫描成像，EDS（能谱）测试，EBSD（电子背散射衍射）测试，EBIC（电子束诱导电流成像）测试等功能等 | ||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固态 | 表面形貌测量 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |