| 仪器名称 | 光学轮廓仪（H） | 仪器型号 | MICRO XAM1200 |
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| 所属单位 | 微电子研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | Kla Tencor | 国别 | 中国 | ||
| 购置时间 | 2011/06/15 | 放置地点 | 微电子仪器设备中心实验室 | ||
| 预约审核人 | 任爱 | 操作人员 | 任爱 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 项目预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 其他工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | 测量样品表面粗糙度，主要针对光滑表面，测量垂直分辨率是0.1nm，最大纵深为 1um。测量表面台阶高度，的最大高度可达 5mm。 | ||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 表面分析 | 表面形貌分析 | 用户指定 | 用户指定 | 350 |