仪器名称 | 电子束曝光机 | 仪器型号 | JBX-5500ZA |
|
|
所属单位 | 苏州纳米技术研究所 | 所属区域中心 | 上海材料与制造大型仪器区域中心 | ||
制造商名称 | 日本JEOL | 国别 | 日本 | ||
购置时间 | 2008/12/31 | 放置地点 | 加工平台一楼104超净间 | ||
预约审核人 | 赵德胜,赵艳亮,孙天玉,龚亚飞,侯克玉,柏燕,程伟,陈杰,崔志国,邓灿,邓旭光,翟豪,董旭,董艳,范亚明,冯海通,付凯,付思齐,李华,李恺燚,林文魁,刘彬,陆建斌,马苏州,缪小虎,倪旭东,黄河,黄宏娟,姜春宇,姬荣坤,鞠涛,孔赤,陶志福,王德稳,王鸿飞,王进,王敏锐,王洋洋,王逸群,魏红霞,吴昀锋,邢政,熊敏,吴冬东,吴玉华,石瑞霞,时文华,孙国庆,苏瑞巩,于国浩,俞挺,曾春红,曾中明,张宝顺,张伟,张学敏,张忆先,张泽洪,张立国,张嫔,杨凡,杨磊,叶义军,尹立航,赵迎春,周丽萍,朱红燕 | 操作人员 | 孙天玉,翟豪,龚亚飞,王德稳,王逸群,张宝顺,张伟,尹立航,侯克玉 | ||
仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
预约类型 | 时间预约 | ||||
仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
仪器主要功能及描述 | |||||
备注 |
仪器收费信息
序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
---|---|---|---|---|---|
1 | 固体 | 电子束曝光 | 用户指定 | 用户指定 | 1200 |
2 | 固体 | 电子束曝光 | 用户指定 | 用户指定 | 1200 |
- 上一篇:光学镀膜机(OTFC-900CBI)
- 下一篇:RIE等离子刻蚀机(903e)