| 仪器名称 | 6英寸双面对准光刻机 | 仪器型号 | MA6/BA6 |
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| 所属单位 | 苏州纳米技术研究所 | 所属区域中心 | 上海材料与制造大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | SUSS | 国别 | 德国 | ||
| 购置时间 | 2008/11/06 | 放置地点 | 加工平台一楼104超净间 | ||
| 预约审核人 | 操作人员 | 侯克玉,尹立航,孔赤,孙天玉,龚亚飞,杨磊 | |||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固体 | 光刻 | 用户指定 | 用户指定 | 800 |
| 2 | 固体 | 光刻 | 用户指定 | 用户指定 | 800 |
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