场发射扫描电子显微镜（Sirion 200）
时间：2018-01-23 15:12:16来源：网络
| 仪器名称 |
场发射扫描电子显微镜
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仪器型号 |
Sirion 200
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| 所属单位 |
固体物理研究所
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所属区域中心 |
合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
美国FEI公司
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2004/12/01
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放置地点 |
3号楼104
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| 预约审核人 |
孔明光
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操作人员 |
孔明光
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
室内分析测试设备
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仪器中类 |
显微镜及图象分析仪器
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仪器小类 |
电子显微镜
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| 仪器主要功能及描述 |
【主要性能指标】
（1）分辨率：1.5 nm（>10 kV），2.5 nm（1 kV），3.5 nm（500V）；（2）加速电压：200V—30 kV；（3）电子枪：高稳定性In-house Schottky场发射电子枪；（4）最大电子束流：22 nA。
【仪器附件】
（1）Oxford INCA能谱仪：Si（Li）探测器；（2）超ATW窗口，10mm2 活区，分辨率（MnKa）：133 eV，分析元素：Be4—U92。
(2)牛津EBSD系统
【主要用途】
观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织；金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；材料表面微区成分进行定性和定量分析，材料表面元素的面、线、点分布分析。
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
固体 |
EBSD分析 |
用户指定 |
用户指定 |
200 |
| 2 |
材料微结构分析 |
扫描电镜能谱分析 |
用户指定 |
用户指定 |
100 |
| 3 |
材料微结构分析 |
扫描电镜能谱分析 |
用户指定 |
用户指定 |
100 |
| 4 |
材料微结构分析 |
SEM表面形貌结构表征 |
用户指定 |
用户指定 |
360 |
| 5 |
材料微结构分析 |
SEM表面形貌结构表征 |
用户指定 |
用户指定 |
300 |
| 6 |
材料微结构分析 |
仪器保养 |
用户指定 |
用户指定 |
0 |
| 7 |
材料微结构分析 |
元素成分线、面分布能谱分析 |
用户指定 |
用户指定 |
100 |
| 8 |
材料微结构分析 |
SEM表面形貌结构表征 |
用户指定 |
用户指定 |
300 |
