| 仪器名称 | LIGA和光刻系统（物质区域中心） | 仪器型号 | 非标 |
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| 所属单位 | 高能物理研究所 | 所属区域中心 | 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 中国科学院高能物理研究所 | 国别 | 中国 | ||
| 购置时间 | 1989/10/19 | 放置地点 | 15号厅 | ||
| 预约审核人 | 王波 | 操作人员 | 王波 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 大科学装置 | 仪器中类 | 大科学装置 | 仪器小类 | 同步辐射装置 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固态 | X射线及紫外光曝光 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |