半导体参数测试仪4200（A）（4200-SCS）
时间：2018-01-23 15:13:26来源：网络
| 仪器名称 |
半导体参数测试仪4200（A）
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仪器型号 |
4200-SCS
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| 所属单位 |
微电子研究所
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所属区域中心 |
北京信息电子技术大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
吉士利
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2003/01/16
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放置地点 |
净化实验室
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| 预约审核人 |
李晶
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操作人员 |
王芳,李晶
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
工艺实验设备
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仪器中类 |
物理量测试仪器
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仪器小类 |
其他物理量测试仪器
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| 仪器主要功能及描述 |
4200-SCS 型半导体特性分析系统是用于器件、材料和半导体工艺参 数分析的完整解决方案。这种先进的参数分析仪具有无可比拟的测量 灵敏度和精度，同时融合嵌入式 Windows 操作系统和吉时利交互式 测试环境，为半导体器件特性分析提供了直观的高级功能。它是一套 功能强大的单机解决方案。
源测量单元
最大电压：210V
最大电流：100mA
最大功率：2W
技术数据条件：
23°C ±5°C，校准后一年内，相对湿度在5%到60%之间，预热30分钟后。
工作温度范围：+10℃ ~+40℃
贮存温度： -15℃ ~+60℃
工作湿度：5%~80% RH，无冷凝
贮存湿度：5%~90% RH，无冷凝
工作高度：0~2000 米
贮存高度：0~4600 米
功率要求：100V~240V，50~60Hz
最大电压电流：1000VA
外观尺寸：43.6cm宽 x22.3cm高 x56.5cm深 (175 /32 英寸 x 8 3 /4 英寸 x 22 1 /4 英寸 )
重量 ( 近似值 )：4 个 SMU 的典型配置为 29.7 公 斤 (65.5 磅 )
I/O 端口：USB，SVGA，打印机，GPIB，以太网， 鼠标，键盘
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
固体、12寸晶圆及以下 |
CV特性曲线 |
用户指定 |
用户指定 |
450 |
| 2 |
固体、12寸晶圆及以下 |
IV特性曲线 |
用户指定 |
用户指定 |
450 |
