| 仪器名称 | 电子束蒸发台 EVA450（D） | 仪器型号 | EVA450 |
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| 所属单位 | 微电子研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 法国 Alliance | 国别 | 法国 | ||
| 购置时间 | 2003/08/03 | 放置地点 | 中科院微电子所 | ||
| 预约审核人 | 武伟超,吴嵩 | 操作人员 | 吴嵩,武伟超 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 电子与通信科学仪器设备 | 仪器小类 | 通用电子测量仪器 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固态 | 薄膜蒸发 | 用户指定 | 用户指定 | 1000 |