| 仪器名称 | 光刻系统EVG | 仪器型号 | EVG620 |
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| 所属单位 | 半导体研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | EVG | 国别 | 奥地利 | ||
| 购置时间 | 2005/06/22 | 放置地点 | 半导体所3号楼1层东区 | ||
| 预约审核人 | 黄亚军,梁秀琴 | 操作人员 | 黄亚军,梁秀琴 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 电子工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固体 | 光刻 | 用户指定 | 用户指定 | 200 |