| 仪器名称 | 亚微米紫外光刻掩模对准系统(纳米区域中心) | 仪器型号 | MA6 |
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| 所属单位 | 物理研究所 | 所属区域中心 | 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 德国Suss MicroTec Gmbh | 国别 | 德国 | ||
| 购置时间 | 2001/11/27 | 放置地点 | C101E | ||
| 预约审核人 | 全保刚 | 操作人员 | 全保刚,谭福涛,金爱子 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 室内分析测试设备 | 仪器中类 | 波谱仪器 | 仪器小类 | 其他波谱仪器 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固体 | 曝光 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |