产品介绍
产品名称：INFICON薄膜沉积监控器SQM-160
品牌：美国INFICON
产地：美国
型号：SQM-160
SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入，另外四个传感器输入为可选输入。两个录像机输出可提供模拟速率和厚度信号。
传感器输入可分配给不同的材料，在大型系统中平均分配以实现精确的沉积控制，或者配置为双传感器。速率采样模式可在高速率过程中屏蔽传感器，从而延长传感器的使用寿命。速率显示为 0.1Å/s 或 0.01Å/s，用户可自行选择。此外，还可以选择频率或质量显示。凭借四个继电器输入，SQM-160 可控制来源或传感器屏蔽、信号时间和厚度设定点以及信号晶体失效。数字输入允许外部信号启动/停止和归零读数。
美国INFICON薄膜沉积监控器SQM-160功能
两个标准测量通道，另外四个可选
模拟输出便于记录速率/厚度
高分辨率选件：0.03 Hz，10 读数/秒
RS-232 标准接口，可选择连接 USB 或以太网
联系
北京恒仪科技有限公司 | 河北恒仪电子科技有限公司
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