| 仪器名称 | 椭偏仪 | 仪器型号 | RTES GES5E |
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| 所属单位 | 中国科学技术大学 | 所属区域中心 | 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | MicroNano.Co.,LTD | 国别 | 匈牙利 | ||
| 购置时间 | 2014/08/26 | 放置地点 | 科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室 | ||
| 预约审核人 | 操作人员 | 微纳中心,荣皓 | |||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | 椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。 | ||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 片状、薄膜 | 膜厚、光学常数及材料微结构测试 | 用户指定 | 用户指定 | 200 |