| 仪器名称 | 电子束曝光系统(EBL) | 仪器型号 | Vistec EBPG 5000plus ES |
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| 所属单位 | 国家纳米科学中心 | 所属区域中心 | 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | Vistec | 国别 | 美国 | ||
| 购置时间 | 2012/12/25 | 放置地点 | 国家纳米科学中心西配楼 | ||
| 预约审核人 | 董凤良,陈佩佩 | 操作人员 | 陈佩佩,董凤良 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | 为了提高设备利用率，设备管理员有权对实际对外服务时间进行调整！ | ||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 固态 | 微纳米结构制作 | 用户指定 | 用户指定 | 1800 |