| 仪器名称 | 金属高密度等离子体刻蚀机(ICPRIE-500) | 仪器型号 | SENTECH PTSA ICP-RIE ETCHER SI 500 |
|
|
| 所属单位 | 国家纳米科学中心 | 所属区域中心 | 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | SENTECH仪器（德国）有限公司 | 国别 | 德国 | ||
| 购置时间 | 2010/04/09 | 放置地点 | 西配楼 | ||
| 预约审核人 | 徐丽华 | 操作人员 | 徐丽华 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 固态 | 刻蚀 | 用户指定 | 用户指定 | 800 |