| 仪器名称 | 光学光刻机(纳米区域中心)（C） | 仪器型号 | SUSS MA6 |
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| 所属单位 | 微电子研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 德国SUSS MicroTec公司 | 国别 | 德国 | ||
| 购置时间 | 2009/05/30 | 放置地点 | 中国科学院微电子研究所 | ||
| 预约审核人 | 胡媛(审批),张凯平 | 操作人员 | 胡媛(审批),张凯平 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 项目预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 电子工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
仪器收费信息
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固态 | 非测试类设备，由于设备实际使用情况不适用于时间预约的，暂用项目预约。 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |