高低温半自动探针台（A）（PA300IS）
时间：2018-01-18 09:43:57来源：网络
| 仪器名称 |
高低温半自动探针台（A）
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仪器型号 |
PA300IS
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| 所属单位 |
微电子研究所
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所属区域中心 |
北京信息电子技术大型仪器区域中心
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| 制造商名称 |
CASCADE
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国别 |
美国
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| 购置时间 |
2009/10/13
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放置地点 |
净化实验室
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| 预约审核人 |
李晶
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操作人员 |
王芳,李晶
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| 仪器工作状态 |
正常
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预约形式 |
必须预约
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| 预约类型 |
时间预约
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| 仪器大类 |
室内分析测试设备
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仪器中类 |
其他通用科学仪器设备
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仪器小类 |
其他
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| 仪器主要功能及描述 |
灵活的300毫米半自动探测器的高精度定位。
德国苏斯微技术开发出了支持300mm晶圆的三维层叠组件用测试系统。该系统可在晶圆级别上对最终封装工序前的三维层叠组件进行探针检测。此次的测试系统装有可使探针沿垂直方向准确移动的机构。能够对准位置并补正温度。采用了可使探针发出的信号不受EMI影响的技术，还通过减小探针触击力量，降低了对组件的影响
Chuck Stage
Travel range in X and Y X/Y维度 ：300 mm x 300mm
Resolution分辨率： 0.5 μm
Repeatability重复性： ± 1 μm
Accuracy精度：± 2 μm
Planarity平面： ± 15 μm
Maximum speed最大速度： 50 mm / sec
Z Movement Z运动
Travel range行程：10 mm
Resolution分辨率： 0.25 μm
Repeatability重复性：± 1 μm
Theta Movement
Travel ：± 5°
Resolution分辨率： 0.0001°
Programmable Microscope Movement (Recommended)
Travel range： 50 mm x 50 mm
Resolution分辨率： 0.25 μm
Repeatability重复性： ± 1.0 μm
Accuracy精度： ± 2.5 μm
Access lift ：130 mm
Manual Platen Movement
Drive type驱动类型： Handwheel手轮
Contact / separation stroke接触/分离冲程：0.4 mm
Travel： 35 mm
Remote Interfaces远程接口
PC ：RS232, IEEE488, LAN, TTL, GPIB
Electronics电子器件： IEEE488, TTL, GPIB
Utilities
Power电源： 115 / 230 V, 50 / 60 Hz, 600 W (maximum 1500 VA)
Vacuum真空度： Less than 200 mbar abs.
Compressed air压缩空气： 6-10 bar
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| 备注 |
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仪器收费信息
| 序号 |
样品分类 |
分析项目 |
前处理标准名称 |
分析项目标准名称 |
对外服务价格 |
| 1 |
12寸晶圆及以下 |
半自动探针台常温测试 |
用户指定 |
用户指定 |
550 |
| 2 |
12寸晶圆及以下 |
半自动探针台高低温测试 |
用户指定 |
用户指定 |
627 |
