仪器设备信息

• 六硼化镧透射电子显微镜(纳米区域中心)（JEM-2100(UHR)）
• 电子束蒸发台 Innotec（C26VE25A）
• TGA/DSC同步热分析仪（物质）（TGA/DSC 1）
• 多组份气体分析仪（物质区域中心）（DX4000）
• 键合系统（SB6）
• 电子束蒸发台Denton（Explorer 14）
• 3D立体显微镜（OLS40-SU）
• 倒装焊（FW1）
• 纳米压印光刻机（MA6）
• 光刻机MJB3（SUSS MJB3）
• 激光直写系统（ATD1000）
• 高温扩散炉（L4514II2F）
• 扫描电子显微镜（NanoSEM650）
• 合金退火炉（L4515II2F）
• 高能离子注入机（长沙48所）
• 聚焦离子束（FB-2100）
• 光刻系统EVG（EVG620）
• ICP金属刻蚀机（SI 500）
• ICP宝石刻蚀机（HiEtch-Lx2000）
• 原子力显微镜（DimensionEdge）
• 光刻系统SUSS（MA6/BA6）
• 磁控溅射系统（DISCOVERY635）
• PT ICP刻蚀系统（VersalineTM LL-DSE）
• 450KV工业CT无损检测系统(GY-450-ICT)(物质区域中心)（研制）
• 高能工业CT无损检测系统(GY-6-ACT)(物质区域中心)（研制）
• 棱镜耦合仪（Model 2010）
• 电子束蒸发台 沈阳科仪（EB700-I）
• 225KV　Ｘ射线显微CT(物质区域中心)（225-3Ｄ-ｕＣＴ）
• 超导核磁共振波谱仪（Avance-400）
• 椭偏仪（M-2000DI）
• 冷场发射扫描电镜（纳米区域中心）（JEOL JSM-6701F）
• 分光光度计（Cray 5E）
• 酶标仪（纳米区域中心）（SpectraMax M5 ）
• X射线衍射系统(物质区域中心)（非标）
• 场发射扫描电子显微镜-6700F（纳米区域中心）（JSM-6700F）
• 小角X射线散射系统(物质区域中心)（研制）
• 变温电子顺磁共振波谱仪（E 500）
• X射线吸收谱学系统(物质区域中心)（非标）
• 真空紫外实验系统（物质区域中心）（研制）
• 傅里叶变换红外光谱仪（Excalibur 3100）