仪器设备信息

• 台阶仪(纳米区域中心)（Dektak XT）
• TU-1901双光束紫外可见分光光度计(物质区域中心)（TU-1901）
• 原子层沉积系统(纳米区域中心)（Savannah-100）
• 真空镀膜机(纳米区域中心)（RZF400）
• 感应耦合等离子体刻蚀系统(纳米区域中心)（Plasmalab System 100 ICP180）
• SPEX-1403双光栅拉曼光谱仪(物质区域中心)（SPEX-1403）
• X射线衍射仪(物质区域中心)（PDPW3040/60）
• 电子束曝光系统(纳米区域中心)（Raith 150）
• 18KW转靶X射线衍射仪(物质区域中心)（M18XHF）
• 聚焦离子束DB235系统(纳米区域中心)（Strata DB 235）
• 磁性测量系统(物质区域中心)（MPMS XL-7）
• 皮秒Nd:YAG脉冲激光器(物质区域中心)（PL2143B）
• 高分辨透射电子显微镜(物质区域中心)（JEM2100PLUS）
• 飞秒掺钛宝石激光器(物质区域中心)（TSA-10）
• 连续波钛宝石激光器(物质区域中心)（3900S）
• 亚微米紫外光刻掩模对准系统(纳米区域中心)（MA6）
• 场发射扫描电镜(物质区域中心)（XL30 S－FEG）
• 单色仪(物质区域中心)（SpectraPro-500i）
• 反应离子刻蚀系统(纳米区域中心)（Plasmalab 80 plus）
• 透射电子显微镜(JEM-2100F)（JEM-2100F）
• III-V族ICP刻蚀机（System 100）
• 离子束溅射台（Optofab3000）
• 电子束蒸发系统-LMF(纳米区域中心)（Peva-600E）
• 氧化硅ICP刻蚀机（Multiplex AOE）
• 激光粒度分析仪(物质区域中心)（Mastersizer 2000 ）
• 气相色谱/高分辨飞行时间质谱联用仪（GCT Premier ）（GCT Premier ）
• PECVD STS（Multiplex CVD）
• 热线风速仪IFA300（物质区域中心）（IFA300）
• 物理性能测量系统（PPMS-9）（PPMS-9）
• X射线衍射仪（颗粒）（ X'Pert PRO MPD 大厦124）
• 综合热分析仪(物质)（STA449C）
• X射线衍射仪（D8 focus）
• Si ICP刻蚀机（601E）
• 飞秒激光抽运探测热反射测试系统（物质区域中心）（自研制）
• 电子束曝光机（150-Turnkey）
• 离子注入机（Varian 350）
• 物理吸附仪-BET-比表面（AUTOSORB-IQ-XR-C）
• PECVD Oxford（system100）
• 激光拉曼光谱仪（物质）（LabRAM HR800）
• 微/纳尺度材料热物性测量系统（物质区域中心）（自研制）