仪器设备信息
- 光电子能谱系统(物质区域中心)（非标）
- 电感耦合等离子体发射光谱仪（Varian 710－OES）
- X射线微纳米成像系统（物质区域中心）（非标）
- JBX6300FS电子束曝光系统(纳米区域中心)（C）（JEOL JBX6300FS）
- 高能所试验束装置（IHEP-BTF）
- 激光解吸飞行时间质谱仪(Microflex)（Microflex ）
- 电感耦合等离子体原子发射光谱仪（物质）（Optima 5300DV）
- 纳米粒度与Zeta电位分析仪(物质)（DelsaNano C ）
- 透射电子显微镜(JEM-2100)（JEM-2100）
- 激光闪光光解光谱仪(瞬态吸收)（LP920）
- 紫外-可见-近红外分光光度计（Cary 5000）
- 过程质谱仪(物质区域中心)（PROLINE）
- 显微共焦激光拉曼光谱仪（inVia-Reflex）
- 微型流化床反应动力学分析仪(物质区域中心)（MFBRA）
- 时间分辨荧光光谱仪(荧光寿命)（F900）
- 飞秒掺钛蓝宝石脉冲激光器 （SP-5W）
- 电子束蒸发台 EVA450（D）（EVA450）
- 低温环境模拟测试装置（研制）
- 双面对准光刻机 suss MA6（D）（suss MA6）
- 13.8033K~273.16K温度计标准装置（LHE4）
- 0.65K~24.5561K 温度计标准装置（LHE3）
- 材料低温热物性测量装置（研制）
- 膜厚仪(8寸J)（NANOMARIC9100）
- 纳米光子学超细微加工系统（研制）
- 全光谱激光扫描共聚焦显微镜（Nikon c1 Si）
- 短周期涡轮实验台（物质区域中心）（自研制）
- 比表面及孔隙度分析仪（Quadrasorb SI-MP）
- 半导体参数测试仪4200（A）（4200-SCS）
- 砂轮划片机（ZSH506）
- 半导体功率器件静态测试系统（A）（TESEC 3620-TT）
- 半导体功率器件动态测试系统（A）（TESEC 3430-SW）
- 台阶仪（KLA-Tencor P-6）
- 低温探针测试系统（Agilent B1500）
- 太阳能电池IV测试系统（Newport-Oriel 94041A）
- 磨抛机组 PM5（D）（PM5）
- 反应等离子体刻蚀机（RIE-200）（ETCHLAB 200）
- 温-湿度循环测试设备(纳米区域中心）（TH10-2186）
- 单面对准紫外光刻机(Mjb-4)（MJB4）
- 光伏检测测试系统（纳米区域中心）（LNZ-2004）
- X射线荧光分析系统(物质区域中心)（非标）