仪器设备信息

• 蒸发HF刻蚀系统（UETCH-SYS）
• 比表面与孔径分析仪（Blesorp-max）
• 原子吸收光谱仪（DUO240）
• 等离子体去胶机（PlasmaStar200）
• 原子力显微镜（Dimension Icon）
• 聚焦离子/电子双束系统（Helios650）
• 原子荧光光度计（AFS-930）
• 散射式近场光学显微镜（NeaSpec s-SNOM）
• 热场发射扫描电镜（JSM-7800F）
• 气相色谱（Agilent 7890A）
• 离子色谱（DIONEX ICS1100）
• 亚微米紫外曝光机（MA/BA6）
• 反射式光谱膜厚仪（SRM300）
• 多功能转靶X射线衍射仪（smartlab）
• 化学气相沉积系统（PECVD100）
• 椭偏仪（RTES GES5E）
• 探针式台阶仪（Bruker-DektakXT）
• 金刚刀车削机（Nanotech 350FG）
• 快速热处理系统（JetFirst200）
• 微纳米薄膜表面形貌测量仪（KLA P-17）
• 反应离子刻蚀机（NGP80 RIE）
• 三重四级杆液质联用仪（TSQ Quantum Access Max）
• 引线键合机（747677E）
• Hartmann波前传感器（SSHOH）
• 晶圆键合机（SB6e）
• 接触式轮廓仪（Form Talysurf PGI）
• 晶圆划片及清洗（ADT7100）
• 总有机碳分析仪（multi N/C3100）
• 原子力显微镜（NaniteAFM）
• 元素分析仪（vario EL cube）
• 总有机碳/总氮分析仪（vario TOC）
• 液压伺服疲劳试验机（MTS Landmark）
• 同步热分析仪（STA449 F3）
• 高效液相色谱（DIONEX ultimate 3000）
• 高频疲劳试验机（PLG100）
• 纳米力学测试系统（Agilent Nano Indenter G200）
• 自动凯氏定氮仪（Kjeltec 8200）
• 荧光光谱仪（FluoroMax-4）
• 紫外可见光谱仪（UV-2700）
• 高能冲击磁控溅射等离子体发生与成膜控制平台（HiPIMS）